Summary

Demonstration eines Hyperlens integriert Mikroskop und super-Resolution Imaging

Published: September 08, 2017
doi:

Summary

Die Verwendung von einem Hyperlens gilt als eine neuartige Höchstauflösung bildgebendes Verfahren wegen seiner Vorteile in Echtzeit-Bildgebung und die einfache Umsetzung mit konventioneller Optik. Hier präsentieren wir Ihnen ein Protokoll beschreibt die Herstellung und imaging-Anwendungen von einem sphärischen Hyperlens.

Abstract

Die Verwendung von Super-Resolution imaging um zu überwinden, die Beugungsgrenze der konventionellen Mikroskopie hat das Interesse der Forscher in der Biologie und Nanotechnologie angezogen. Obwohl Nahfeld-scanning-Mikroskopie und Superlenses die Auflösung der Nahfeld-Region verbessert haben, bleibt Fernfeld Bildgebung in Echtzeit eine große Herausforderung dar. Vor kurzem hat die Hyperlens, die vergrößert und wandelt evaneszenten Wellen in Wellen zu propagieren, einen neuartigen Ansatz zur Fernfeld Bildgebung entwickelt. Hier berichten wir über die Herstellung von einer kugelförmigen Hyperlens, bestehend aus abwechselnd Silber (Ag) und Titan (TiO2) dünne Oxidschichten. Im Gegensatz zu einem konventionellen zylindrischen Hyperlens ermöglicht die sphärischen Hyperlens zweidimensionaler Vergrößerung. Einbindung in konventionellen Mikroskopie ist so einfach. Ein neues optisches System integriert mit der Hyperlens wird vorgeschlagen, so dass für eine Sub-Wellenlänge-Bild in der Fernfeld Region in Echtzeit abgerufen werden. In dieser Studie werden die Fertigung und bildgebende Methoden der Einrichtung ausführlich erläutert. Diese Arbeit beschreibt auch die Zugänglichkeit und die Möglichkeit der Hyperlens sowie praktische Anwendungen der Echtzeit-Bildgebung in lebenden Zellen, was zu einer Revolution in der Biologie und Nanotechnologie führen kann.

Introduction

Ein Wunsch, Biomoleküle in lebenden Zellen beobachten führte zur Erfindung der Mikroskopie, und das Aufkommen der Mikroskopie propagiert der Revolution von verschiedenen Bereichen wie Biologie, Pathologie und Materialkunde, über letzten Jahrhunderte. Weiterentwicklung der Forschung hat jedoch durch Beugung, die die Auflösung der konventionellen Mikroskopen über Grenzen beschränkt die Hälfte der Wellenlänge1. Super-Resolution imaging um zu überwinden, die Beugungsgrenze ist daher ein interessantes Forschungsgebiet in den letzten Jahrzehnten gewesen.

Da die Beugungsgrenze den Verlust der evaneszenten Wellen, die Sub-Wellenlängeninformationen über Objekte enthalten zugeschrieben wird, wurden das Frühstudium evaneszenten Wellen abhalten, verblassen oder, sie zurückzugewinnen,2,3durchgeführt. Die Bemühungen um die Beugungsgrenze überwunden wurde zuerst berichtet, mit Nahfeld-optische Rasterelektronenmikroskopie, die sammelt der evaneszenten Feldes in unmittelbarer Nähe zum Objekt, bevor es verschleuderten2ist. Aber wie der gesamte Bildbereich scannen und rekonstruieren es sehr lange dauert, kann es zu Echtzeit-Bildgebung angewendet werden. Obwohl ein anderer Ansatz, basierend auf der “Superlens,” dem evaneszenten Wellen verstärkt, die Möglichkeit der Echtzeit-Bildgebung bietet, Sub Wellenlänge Bildgebung ist nur in der Nahfeld-Region in der Lage und nicht weit über die Objekte4, erreichen 5 , 6 , 7.

Vor kurzem hat die Hyperlens einen neuartigen Ansatz zur Echtzeit-Fernfeld optische Bildgebung8,9,10,11,12entwickelt. Die Hyperlens, die stark anisotrope hyperbolische Metamaterialien13erfolgt, weist eine flache hyperbolische Verteilung so dass es hohe räumliche Informationen mit der gleichen Phasengeschwindigkeit unterstützt. Darüber hinaus ist aufgrund der Impuls-Erhaltungssatz der hohen transversalen Wavevector allmählich komprimiert die zylindrische Geometrie der Welle durchläuft. Diese vergrößerten Informationen kann somit von einem herkömmlichen Mikroskop in der Fernfeld Region erfasst werden. Dies ist von besonderer Bedeutung für Echtzeit-Fernfeld Bildgebung erfordert nicht die jeder Punkt für Punkt scannen oder Bild-Rekonstruktion. Darüber hinaus kann die Hyperlens für andere Anwendungen als Bildgebung, einschließlich Nanolithografie verwendet werden. Licht, das durch die Hyperlens in umgekehrter Richtung geht konzentriert sich auf eine Sub-Beugung durch die Zeitumkehr Symmetrie14,15,16.

Hier berichten wir über eine sphärische Hyperlens, die zweidimensionale Informationen bei der sichtbaren Frequenz vergrößert. Im Gegensatz zu konventionellen zylindrischen Geometrie vergrößert die sphärischen Hyperlens Objekte in zwei seitliche hervorragen, praktische imaging-Anwendungen zu erleichtern. Die Herstellungsverfahren und imaging-Setup mit dem Hyperlens sind für die Wiedergabe von einem qualitativ hochwertigen Hyperlens ausführlich vorgestellt. Ein Sub-Wellenlänge-Objekt ist auf dem Hyperlens Willen beweisen seine Super-Lösung macht eingeschrieben. Es wird bestätigt, dass kleine Merkmale der beschrifteten Objekte sind durch die Hyperlens vergrößert. Somit ergeben sich klar aufgelöste Bilder der Fernfeld Region in Echtzeit. Diese neue Art der kugelförmigen Hyperlens, mit der einfachen Integration mit konventionellen Mikroskopie, bietet die Möglichkeit der praktischen imaging-Anwendungen, was zu Beginn einer neuen Ära in der Biologie, Pathologie und allgemeine Nanoscience.

Protocol

1. Substrataufbereitung erhalten sehr raffiniert Quarz Wafer. Für die Herstellung berichtet hier verwenden einen Wafer mit einer Dicke von 500 µm. Spin-Mantel der Quarz-Wafer mit einer positiven Photoresist auf 2.000 u/min und im vorgeheizten Backofen 60 s bei 90 ° c Hinweis: Die positiven Photoresist-Schicht beschichtet wird, um Schäden während der anschließenden schneiden Schritt zu vermeiden. Eine dicing Maschine benutzen, um dem Wafer mit Fotolack in kleine Stücke 20 x 20 …

Representative Results

Die Fähigkeit des Hyperlens Geräts Sub Beugung Funktionen lösen basiert auf seiner Gleichmäßigkeit und eine qualitativ hochwertige Fertigung. Hier besteht ein Hyperlens aus einem mehrschichtigen Ag und TiO2 abwechselnd hinterlegt. Abbildung 2a zeigt die REM-Aufnahme einer gut gemachten Hyperlens17. Das Cross-sectional Bild zeigt, dass die Multilayer Ag und Ti3O5 Dünnschicht mit gleichmäßiger Dic…

Discussion

Die Herstellung von einem Hyperlens beinhaltet drei Hauptschritte: Definition halbkugelförmigen Geometrie in das Quarz Substrat durch eine nasse Ätzprozess Stapeln der Metall- und dielektrische Multilayer verwenden ein Elektron Lichtstrahl Verdampfungssystem und Beschriftung der Objekt auf dem Cr-Layer. Der wichtigste Schritt ist die zweite, da es die Qualität der Hyperlens erheblich beeinträchtigen kann. In der Dünnschicht-Abscheidung gibt es zwei Bedingungen, die spezielle für ein klares Bild super gelöst Pflege…

Disclosures

The authors have nothing to disclose.

Acknowledgements

Diese Arbeit wird finanziell unterstützt durch Young Investigator Programm (NRF-2015R1C1A1A02036464), Engineering Research Center Program (NRF-2015R1A5A1037668) und Global Frontier Program (CAMM-2014M3A6B3063708), m.k., S.S, I.K anerkennen die globale Ph.d. Stipendien (NRF-2017H1A2A1043204, NRF-2017H1A2A1043322, NRF-2016H1A2A1906519) durch die National Research Foundation of Korea (NRF) Zuschuss gefördert durch das Ministerium für Wissenschaft, IKT und Zukunft planen (MSIP) der koreanischen Regierung.

Materials

Focused Ion Beam milling machine FEI Helios Nanolab G3 CX
E-beam evaporation system Korea Vacuum Tech KVE-E4000
Scanning electron microscopy Hitachi SU6600
Inverted microscopy Zeiss Axiovert 200
Light source EXCELITAS Technologies X-Cite 110 LED
Band pass filter Chroma ET405/30M
Objective lens Zeiss Plan-Apochromat NA=1.3, 100X
CCD camera Andor Zyla 4.2
Quartz wafer CORNING Fused Silica Corning 7980
Buffered oxide etchant J.T Baker TM J.T.Baker 5175
Photoresist AZ electronic materials GXR-601 PR
Chromium etchant SIGMA-ALDRICH 651826
Aceton J.T Baker TM UN1090
Isopropyl alcohol J.T Baker TM UN1219
FEM simulation tool COMSOL 5.1 Multiphysics

References

  1. Abbe, E. Beiträge zur Theorie des Mikroskops und der mikroskopischen Wahrnehmung. Archiv für mikroskopische Anatomie. 9 (1), 413-418 (1873).
  2. Dürig, U., Pohl, D. W., Rohner, F. Near-field optical-scanning microscopy. J Appl Phys. 59 (10), 3318-3327 (1986).
  3. Pendry, J. B. Negative Refraction Makes a Perfect Lens. Phys Rev Lett. 85 (18), 3966-3969 (2000).
  4. Fang, N., Liu, Z., Yen, T. -. J., Zhang, X. Regenerating evanescent waves from a silver superlens. Opt Express. 11 (7), 682-687 (2003).
  5. Fang, N., Lee, H., Sun, C., Zhang, X. Sub-Diffraction-Limited Optical Imaging with a Silver Superlens. Science. 308 (5721), 534-537 (2005).
  6. Melville, D. O. S., Blaikie, R. J. Super-resolution imaging through a planar silver layer. Opt Express. 13 (6), 2127-2134 (2005).
  7. Taubner, T., Korobkin, D., Urzhumov, Y., Shvets, G., Hillenbrand, R. Near-Field Microscopy Through a SiC Superlens. Science. 313 (5793), 1595-1595 (2006).
  8. Jacob, Z., Alekseyev, L. V., Narimanov, E. Optical Hyperlens: Far-field imaging beyond the diffraction limit. Opt Express. 14 (18), 8247-8256 (2006).
  9. Lee, H., Liu, Z., Xiong, Y., Sun, C., Zhang, X. Development of optical hyperlens for imaging below the diffraction limit. Opt Express. 15 (24), 15886-15891 (2007).
  10. Liu, Z., Lee, H., Xiong, Y., Sun, C., Zhang, X. Far-Field Optical Hyperlens Magnifying Sub-Diffraction-Limited Objects. Science. 315 (5819), 1686-1686 (2007).
  11. Kim, M., Rho, J. Metamaterials and imaging. Nano Converg. 2 (1), 22 (2015).
  12. Byun, M., et al. Demonstration of nanoimprinted hyperlens array for high-throughput sub-diffraction imaging. Sci Rep. 7, 46314 (2017).
  13. Shekhar, P., Atkinson, J., Jacob, Z. Hyperbolic metamaterials: fundamentals and applications. Nano Converg. 1 (1), 14 (2014).
  14. Liu, L., et al. Sub-diffraction demagnification imaging lithography by hyperlens with plasmonic reflector layer. RSC Advances. 6 (98), 95973-95978 (2016).
  15. Sun, J., Xu, T., Litchinitser, N. M. Experimental demonstration of demagnifying hyperlens. Nano Lett. 16 (12), 7905-7909 (2016).
  16. Kim, M., et al. Deep sub-wavelength nanofocusing of UV-visible light by hyperbolic metamaterials. Sci Rep. 6, 38645 (2016).
  17. Rho, J., et al. Spherical hyperlens for two-dimensional sub-diffractional imaging at visible frequencies. Nat Commun. 1, 143 (2010).
  18. Chen, W., et al. Ultra-thin ultra-smooth and low-loss silver films on a germanium wetting layer. Opt Express. 18 (5), 5124-5134 (2010).
check_url/55968?article_type=t

Play Video

Cite This Article
Lee, D., Kim, M., So, S., Kim, I., Yoon, G., Kim, K., Rho, J. Demonstration of a Hyperlens-integrated Microscope and Super-resolution Imaging. J. Vis. Exp. (127), e55968, doi:10.3791/55968 (2017).

View Video