Summary

Mikrofluidische kanalbasierte Weichelektroden und ihre Anwendung in der kapazitiven Druckmessung

Published: March 17, 2023
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Summary

Flexible Elektroden haben ein breites Anwendungsspektrum in der Softrobotik und der tragbaren Elektronik. Das vorliegende Protokoll demonstriert eine neue Strategie zur Herstellung hochdehnbarer Elektroden mit hoher Auflösung über lithographisch definierte mikrofluidische Kanäle, die den Weg für zukünftige Hochleistungs-Weichdrucksensoren ebnet.

Abstract

Flexible und dehnbare Elektroden sind wesentliche Bestandteile weicher künstlicher Sinnessysteme. Trotz der jüngsten Fortschritte in der flexiblen Elektronik sind die meisten Elektroden entweder durch die Auflösung der Strukturierung oder die Fähigkeit des Tintenstrahldrucks mit hochviskosen superelastischen Materialien eingeschränkt. In diesem Artikel stellen wir eine einfache Strategie zur Herstellung von Mikrokanal-basierten dehnbaren Kompositelektroden vor, die durch das Abkratzen von elastischen leitfähigen Polymerkompositen (ECPCs) in lithographisch geprägte mikrofluidische Kanäle erreicht werden kann. Die ECPCs wurden durch eine Verdampfungsmethode mit flüchtigen Lösungsmitteln hergestellt, die eine gleichmäßige Dispersion von Kohlenstoffnanoröhren (CNTs) in einer Polydimethylsiloxan (PDMS)-Matrix erreicht. Im Vergleich zu konventionellen Herstellungsmethoden kann die vorgeschlagene Technik die schnelle Herstellung von gut definierten dehnbaren Elektroden mit hochviskoser Aufschlämmung erleichtern. Da die Elektroden in dieser Arbeit aus rein elastomeren Materialien bestehen, können an den Grenzflächen der Mikrokanalwände starke Verbindungen zwischen den ECPCs-basierten Elektroden und dem PDMS-basierten Substrat gebildet werden, wodurch die Elektroden unter hohen Zugbelastungen mechanische Robustheit aufweisen können. Darüber hinaus wurde auch das mechanisch-elektrische Verhalten der Elektroden systematisch untersucht. Schließlich wurde durch die Kombination eines dielektrischen Silikonschaums und einer IDE-Schicht (Interdigitated Electrodes) ein weicher Drucksensor entwickelt, der ein großes Potenzial für Drucksensoren in taktilen Sensoranwendungen für weiche Roboter zeigte.

Introduction

Weichdrucksensoren sind in Anwendungen wie pneumatischen Robotergreifern1, tragbarer Elektronik2, Mensch-Maschine-Schnittstellensystemen3 usw. weit verbreitet. In solchen Anwendungen erfordert das sensorische System Flexibilität und Dehnbarkeit, um einen konformen Kontakt mit beliebigen krummlinigen Oberflächen zu gewährleisten. Daher sind alle wesentlichen Komponenten, einschließlich des Substrats, des Wandlerelements und der Elektrode, erforderlich, um eine gleichbleibende Funktionalität unter extremen Verformungsbedingungenzu gewährleisten 4. Um eine hohe Erfassungsleistung aufrechtzuerhalten, ist es außerdem wichtig, die Änderungen in den weichen Elektroden auf ein Minimum zu beschränken, um Interferenzen in den elektrischen Erfassungssignalen5 zu vermeiden.

Als eine der Kernkomponenten von Weichdrucksensoren sind dehnbare Elektroden, die hohen Spannungs- und Dehnungsniveaus standhalten können, entscheidend für das Gerät, um stabile Leiterbahnen und Impedanzeigenschaften zu erhalten 6,7. Weiche Elektroden mit hervorragender Leistung besitzen in der Regel 1) eine hohe räumliche Auflösung im Mikrometerbereich und 2) eine hohe Dehnbarkeit mit starker Bindung an das Substrat, und dies sind unverzichtbare Eigenschaften, um eine hochintegrierte weiche Elektronik in einer tragbaren Größe8 zu ermöglichen. Daher wurden in letzter Zeit verschiedene Strategien vorgeschlagen, um weiche Elektroden mit den oben genannten Eigenschaften zu entwickeln, wie z. B. Tintenstrahldruck, Siebdruck, Sprühdruck und Transferdruck usw. 9. Das Tintenstrahldruckverfahren6 ist aufgrund seiner Vorteile der einfachen Herstellung, der fehlenden Maskierungsanforderung und der geringen Menge an Materialabfall weit verbreitet, aber es ist schwierig, aufgrund von Einschränkungen in Bezug auf die Tintenviskosität eine hochauflösende Strukturierung zu erreichen. Der Siebdruck10 und der Sprühdruck11 sind einfache und kostengünstige Strukturierungsverfahren, die eine Schattenmaske auf dem Substrat erfordern. Das Platzieren oder Entfernen der Maske kann jedoch die Klarheit der Musterung verringern. Obwohl der Transferdruck4 als vielversprechender Weg zum hochauflösenden Druck gilt, leidet diese Methode unter einem komplizierten Verfahren und einem zeitaufwändigen Druckprozess. Darüber hinaus weisen die meisten der durch diese Strukturierungsverfahren hergestellten weichen Elektroden weitere Nachteile auf, wie z. B. eine Delamination vom Substrat.

In dieser Arbeit stellen wir ein neuartiges Druckverfahren zur schnellen Herstellung kostengünstiger und hochauflösender weicher Elektroden vor, die auf mikrofluidischen Kanalkonfigurationen basieren. Im Vergleich zu anderen konventionellen Herstellungsmethoden verwendet die vorgeschlagene Strategie elastische leitfähige Polymerkomposite (ECPCs) als leitfähiges Material und lithographisch geprägte mikrofluidische Kanäle zur Strukturierung der Elektrodenleiterbahnen. Die ECPCs-Aufschlämmung wird nach der Lösungsmittelverdampfungsmethode hergestellt und besteht aus 7 Gew.-% Kohlenstoffnanoröhren (CNTs), die in einer Polydimethylsiloxan-Matrix (PDMS) gut dispergiert sind. Durch das Abkratzen des ECPCs-Slurry in den mikrofluidischen Kanal können hochauflösende Elektroden hergestellt werden, die durch lithographische Strukturierung definiert sind. Da die Elektrode hauptsächlich auf PDMS basiert, entsteht außerdem eine starke Bindung an der Grenzfläche zwischen der ECPCs-basierten Elektrode und dem PDMS-Substrat. So kann die Elektrode ein Dehnungsniveau aushalten, das so hoch ist wie das PDMS-Substrat. Die experimentellen Ergebnisse bestätigen, dass die vorgeschlagene dehnbare Elektrode linear auf axiale Dehnungen von bis zu 30% reagieren kann und eine ausgezeichnete Stabilität in einem Hochdruckbereich von 0-400 kPa aufweist, was auf das große Potenzial dieser Methode zur Herstellung weicher Elektroden in kapazitiven Drucksensoren hinweist, das auch in dieser Arbeit demonstriert wird.

Protocol

1. Synthese des ECPCs-Slurrys Dispergieren Sie die CNTs in einem Gewichtsverhältnis von 1:30 in einem Toluollösungsmittel und verdünnen Sie die PDMS-Base mit Toluol im Gewichtsverhältnis 1:1.HINWEIS: Der gesamte Versuchsablauf, der in Abbildung 1 dargestellt ist, sollte in einem gut belüfteten Abzug durchgeführt werden. Die CNTs/Toluol-Suspension und die PDMS/Toluol-Lösung bei Raumtemperatur 1 h magnetisch umrühren.HINWEIS: Mit diesem Schr…

Representative Results

Dem Protokoll folgend, können ECPCs über den mikrofluidischen Kanal strukturiert werden, was zur Bildung von dehnbaren Elektroden mit hoher Auflösung führt. Die Abbildungen 3A, B zeigen Fotografien von weichen Elektroden mit unterschiedlichen Leiterbahndesigns und Druckauflösungen. Abbildung 3C zeigt die unterschiedlichen Linienbreiten der hergestellten Elektroden, einschließlich 50 μm, 100 μm und 200 μm. Der Widerstand jeder Elektrode …

Discussion

In diesem Protokoll haben wir ein neuartiges mikrofluidisches Kanal-basiertes Druckverfahren für dehnbare Elektroden demonstriert. Das leitfähige Material der Elektrode, die ECPCs-Aufschlämmung, kann durch die Lösungsmittelverdampfungsmethode hergestellt werden, die es ermöglicht, die CNTs gut in der PDMS-Matrix zu dispergieren und so ein leitfähiges Polymer zu bilden, das eine Dehnbarkeit aufweist, die so hoch ist wie die des PDMS-Substrats.

Beim Abstreifen wird der ECPCs-Slurry mit Hil…

Disclosures

The authors have nothing to disclose.

Acknowledgements

Diese Arbeit wurde von der National Natural Science Foundation of China im Rahmen von Grant 62273304 unterstützt.

Materials

Camera OPLENIC DIGITAL CAMERA
Carbon nanotubes (CNTs) Nanjing Xianfeng Nano-technology Diameter:10-20 nm,Length:10-30 μm
Hotplate Stirrer Thermo Scientific Super-Nuova+ Stirring and Heating Equipment
LCR meter Keysight E4980AL Capacitance Measurment Equipment
Microscope SDPTOP
Multimeter Fluke Resistance measurment Equipment
Oven Yamoto DX412C Heating equipment
Photo mask Shenzhen Weina Electronic Technology
Photoresist Microchem SU-8 3050
Polydimethylsiloxane (PDMS) Dow Corning Sylgard 184 Silicone Elastomer
Silicone Foam Smooth on Soma Foama 25 Two-component Platinum Silicone Flexible Foam
Silicone wafer Suzhou Crystal Silicon Electronic & Technology Diameter:2inch
Stirrer IKA Color Squid Stirring Equipment
Toluene Sinopharm Chemical Reagent Solvent for the Preparation of ECPCs
Triethoxysilane Macklin

References

  1. Sun, Z. D., et al. Artificial intelligence of things (AIoT) enabled virtual shop applications using self-powered sensor enhanced soft robotic manipulator. Advanced Science. 8 (14), 2100230 (2021).
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  3. Zhu, M. L., et al. Haptic-feedback smart glove as a creative human-machine interface (HMI) for virtual/augmented reality applications. Science Advances. 6 (19), (2020).
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  8. Zhang, Y., et al. Highly stable flexible pressure sensors with a quasi-homogeneous composition and interlinked interfaces. Nature Communications. 13, 1317 (2022).
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  10. Shi, H., et al. Screen-printed soft capacitive sensors for spatial mapping of both positive and negative pressures. Advanced Functional Materials. 29 (23), 1809116 (2019).
  11. Mahmoudinezhad, M. H., Anderson, I., Rosset, S. Interdigitated sensor based on a silicone foam for subtle robotic manipulation. Macromolecular Rapid Communications. 42 (5), 2000560 (2019).

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Cite This Article
Wang, X., Shangguan, P., Huang, P., Hou, D. Microfluidic Channel-Based Soft Electrodes and Their Application in Capacitive Pressure Sensing. J. Vis. Exp. (193), e65175, doi:10.3791/65175 (2023).

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