Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
En metode for permanent binding av to silisiumskiver for å realisere et ensartet kabinett er beskrevet. Dette inkluderer wafer forberedelse, rengjøring, RT binding, og annealing prosesser. De resulterende limte wafers (celler) har ensartethet av kabinett ~ 1%1,2. Den resulterende geometrien muliggjør målinger av begrensede væsker og gasser.