/
/
Проектирование и характеристика методологии для эффективного широкий диапазон МЭМС Перестраиваемые фильтры
A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
Chapters
- 00:00Title
- 02:51Selecting and Designing Optimum Structure
- 03:31Modeling and Fabrication on CMOS
- 05:39Device Testing: Thermal Camera Test for Embedded Heaters
- 06:27Device Testing: Calibrating LDV and Test Setup
- 09:19Device Testing: Testing 68μm Long MEMS Filters via LDV
- 10:32Device Testing: Higher Mode Measurement
- 11:01Avoiding Device Failures
- 11:45Avoiding Failures: High Thermal Stress and Burning
- 12:10Boosting The Tuning Capability
- 13:16Results
- 14:07Conclusion
Протокол для фиксированной фиксированного луча дизайн, с использованием лазера Doppler Виброметр (АМГ), включая измерение частоты тюнинг, изменения настройки возможности и недопущение отказа устройства и stiction, представил. Превосходство метода LDV над сетевой анализатор продемонстрировал из-за его выше возможности режима.
