JoVE Journal
Engineering
Engineering
This content is Open Access.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Opnåelse af høj kvalitet Schottky kontakter er afgørende for at opnå effektiv gate graduering i heterostructure field effect transistorer (HFETs). Vi præsenterer fabrikationsanlæg metode og karakteristika af Schottky Dioder på Zn-polar BeMgZnO/ZnO heterostructures med high-density to dimensionelle elektron gas (2DEG), dyrket af plasma-assisteret molekylære stråle epitaxy på GaN skabeloner.