Journal
/
Chemistry
/
Niobium oxide films afgezet door reactieve sputtering: effect van zuurstof debiet
JoVE Journal
Chemistry
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Chemistry
Niobium Oxide Films Deposited by Reactive Sputtering: Effect of Oxygen Flow Rate
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Niobium oxide films afgezet door reactieve sputtering: effect van zuurstof debiet

DOI:
10.3791/59929-v

•

08:23 min

•

September 28, 2019

•

, , , , ,
1Chemistry Department,Federal University of São Carlos (UFSCAR), 2Physics Department, School of Sciences,São Paulo State University (UNESP)

Chapters

  • 00:04Title
  • 00:47Niobium Oxide Film Deposition
  • 03:55Solar Cell Construction
  • 05:46Results: The Effects of Oxygen Flow Rates on Reactive Sputtering
  • 07:23Conclusion

Summary

Automatic Translation

Automatic Translation

Hier presenteren we een protocol voor niobium oxide films afzetting door reactieve sputteren met verschillende zuurstof stroomsnelheden voor gebruik als een elektron transportlaag in perovskietmodule zonnecellen.

Tags

Keywords: Reactive SputteringNiobium Oxide FilmsOxygen Flow RateThin Film DepositionSubstrate PreparationSputtering Process ParametersFilm ThicknessPlasma CleaningImpedance Matching

Article

Embed

ADD TO PLAYLIST

Usage Statistics

Related Videos

check_url/59929?article_type=v

Atomair gedefinieerde templates voor epitaxiale groei van complexe oxide deklagen
check_url/59929?article_type=v

Fabricage van Groot-area Vrijstaande Ultradunne Polymer Films
check_url/59929?article_type=v

Ontrafelen Entropic Rate Versnelling geïnduceerd door Solvent Dynamiek in Membrane Enzymen
check_url/59929?article_type=v

Koeling Rate Afhankelijk Ellipsometrie Metingen aan de dynamiek van Thin Films glazige Bepaal
check_url/59929?article_type=v

Voorbereiding van Macroporeuze Epitaxiale Quartz Films on Silicon door chemische oplossing Deposition
check_url/59929?article_type=v

Ontbinding Dynamic Nuclear Polarisatie Instrumentatie voor Real-time enzymatische reactie snelheidsmetingen door NMR
check_url/59929?article_type=v

Aerosol-bijgewoonde Chemical Vapor Deposition van metaaloxide structuren: zinkoxide staven
check_url/59929?article_type=v

Reactieve Vapor Deposition van geconjugeerd polymeerlagen op willekeurige substraten
check_url/59929?article_type=v

Solvothermal synthese van MIL-96 en UiO-66-NH2 op atomische laag gestort metaaloxide Coatings op Fiber matten
check_url/59929?article_type=v

Gesmolten-zout synthese van complexe metaaloxide nanodeeltjes

Read Article