Journal
/
Engineering
/
Gjengivelse av SiO2/Si Overflater Omniphobic ved carving gass-entrapping mikroteksturer bestående av reentrant og doubly reentrant cavities eller søyler
JoVE Journal
Engineering
This content is Free Access.
JoVE Journal Engineering
Rendering SiO2/Si Surfaces Omniphobic by Carving Gas-Entrapping Microtextures Comprising Reentrant and Doubly Reentrant Cavities or Pillars

Gjengivelse av SiO2/Si Overflater Omniphobic ved carving gass-entrapping mikroteksturer bestående av reentrant og doubly reentrant cavities eller søyler

DOI:
10.3791/60403-v

•

08:02 min

•

February 11, 2020

•

, , , , , ,
1Water Desalination and Reuse Center (WDRC), Biological and Environmental Science and Engineering (BESE) Division,King Abdullah University of Science and Technology (KAUST), 2Core Labs,King Abdullah University of Science and Technology (KAUST)

Chapters

  • 00:04Introduction
  • 01:08Cavity Design and Wafer Cleaning
  • 02:17Photolithography
  • 03:15Silica (SiO2) and Silicon (Si) Layer Etching
  • 04:30Thermal Oxide Growth and Etching
  • 06:00Results: Representative Wetting Behaviors of Gas-Entrapping Microtextures (GEMs)
  • 07:08Conclusion

Summary

Automatic Translation

Automatic Translation

Dette arbeidet presenterer mikrofabrikasjonsprotokoller for å oppnå hulrom og søyler med reentrant og dobbelt reentrant profiler på SiO2/ Si wafers ved hjelp av fotolitografi og tørr etsing. Resulterende mikroteksturerte overflater viser bemerkelsesverdig flytende avstøting, preget av robust langsiktig entrapment av luft under fuktevæsker, til tross for den iboende våtheten av silika.

Tags

Keywords: SiO2/Si SurfacesOmniphobicGas-entrapping MicrotexturesReentrant CavitiesDoubly Reentrant CavitiesPillarsPhotolithographyDry EtchingMicrofabricationSilicon WaferThermal OxidePiranha SolutionHexamethyldisilazanePhotoresistSpin CoatingUV Exposure

Article

Embed

ADD TO PLAYLIST

Usage Statistics

Related Videos

check_url/60403?article_type=v

Sondering og kartlegging Elektrode Overflater i Solid Oxide Fuel Cells
check_url/60403?article_type=v

Fabrikasjon og karakterisering av fotoniske krystaller bremse lys Waveguides og hulrom
check_url/60403?article_type=v

Fabrikasjon av Nano-konstruert transparent gjennomføre Oksider av pulset laser Nedfall
check_url/60403?article_type=v

High-speed Particle Bilde velocimetry nærheten Overflater
check_url/60403?article_type=v

Monolayer Contact Doping of Silicon Surfaces and Nanowires Using Organophosphorus Compounds
check_url/60403?article_type=v

Fabrikasjon av ensartede nanoskala hulrom via silisium direkte wafer binding
check_url/60403?article_type=v

Flyktige feltet Basert Photoacoustics: Optisk Evaluering eiendom på Overflater
check_url/60403?article_type=v

Utviklingen av Silica partikler-polyester Belegg på overflater som utsettes for sollys
check_url/60403?article_type=v

Pool-Koke Heat-Transfer Enhancement på sylinderflater med Hybrid Fukt Patterns
check_url/60403?article_type=v

En myk verktøy prosessen kjede for sprøytestøping av en 3D-komponent med Micro søyler

Read Article