Waiting
Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
Journal / Engineering / Parallel Active Cantilever Arrays in AFMS to… / Instrumentkalibrering, experimentell uppställning …
JoVE Journal
Engineering

A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.

JoVE Journal Engineering
Instrumentkalibrering, experimentell uppställning och parameterjustering för topografiavbildning av halvledarskivor med AFM
Bringing the Visible Universe into Focus with Robo-AO
Journal (Engineering)
Bringing the Visible Universe into Focus with Robo-AO
Advanced Self-Healing Asphalt Reinforced by Graphene Structures: An Atomistic Insight
Journal (Engineering)
Advanced Self-Healing Asphalt Reinforced by Graphene Structures: An Atomistic Insight
 
Click here for the English version

Instrumentkalibrering, experimentell uppställning och parameterjustering för topografiavbildning av halvledarskivor med AFM

Parallel Active Cantilever Arrays in AFMS to Enable High-Throughput Inspections

Article DOI: 10.3791/200439-v • 03:41 min • June 13th, 2023
June 13th, 2023 •
1, 1, 2, 3, 4,5
1Mechatronics Research Lab, Department of Mechanical Engineering, Massachusetts Institute of Technology, 2Mechatronics Group, Department of Mechanical Engineering, Ilmenau University of Technology, 3Production and Precision Measurement Technology Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Ilmenau University of Technology, 4Nanoscale Systems Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Ilmenau University of Technology, 5nano analytik GmbH

Tags

Aktiv sond atomkraftsmikroskopi Quattro-parallella fribärande arrayer hög genomströmning storskalig provinspektion atomkraftsmikroskop ytstudier i nanoskala 3D-topografibilder bildgenomströmning höghastighets AFM-system dynamiska processvideor kemiska och biologiska reaktioner halvledarskivor nanofabricerade strukturer rumslig upplösningsavbildning i nanoskala statiskt prov hög produktivitet passiv fribärande sond optiskt strålavböjningssystem bildgenomströmning Aktiva konsoler inbyggda piezoresistiva sensorer termomekaniska ställdon parallell drift bildgenomströmning nanolägesställare med stort intervall kontrollalgoritmer datadrivna efterbehandlingsalgoritmer
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter