JoVE Journal
Engineering
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Vi presenterer en kompakt refleksjon digital holografisk system (CDHM) for inspeksjon og karakterisering av MEMS enheter. Et objektiv-mindre design ved hjelp av en divergerende innspill bølge gir naturlig geometrisk forstørrelsen er demonstrert. Både statiske og dynamiske studier er presentert.