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医用フォトレジスト スプレー塗装と柔軟なフォトマスクを使用して皮下注射針の先端の微細電極の作製
 
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医用フォトレジスト スプレー塗装と柔軟なフォトマスクを使用して皮下注射針の先端の微細電極の作製

Article DOI: 10.3791/56622-v • 08:15 min • November 28th, 2017
November 28th, 2017 •
1, 2, 1,2
1Department of Biomedical Science and Engineering, Gwangju Institute of Science and Technology (GIST), 2School of Mechanical Engineering, Gwangju Institute of Science and Technology (GIST)

Chapitres

résumé
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高級櫛型電極の作製法 (ギャップと幅: 20 μ m) 注射針の先端に (直径: 720 μ m) フォトリソグラフィ工程でスプレー塗装と柔軟なフィルム フォトマスクを使用して示されて。

Tags

神経科学、問題 129、注射針、櫛型電極、スプレー コーティング、柔軟なフィルム フォトマスク、電気インピー ダンス分光学、EIS
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