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Plasmaunterstütztes MolekularstrahlepitaxieWachstum von Mg3N2 und Zn3N2 Dünnschichten
Journal JoVE
Ingénierie
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Journal JoVE Ingénierie
Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy Growth of Mg3N2 and Zn3N2 Thin Films
DOI:

13:05 min

May 11, 2019

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Chapitres

  • 00:00Titre
  • 00:57MgO Substrate Preparation
  • 01:50Operation of VG V80 MBE
  • 02:13Substrate Loading
  • 04:04Metal Flux Measurements
  • 05:59Nitrogen Plasma
  • 06:51In-situ Laser Light Scattering
  • 08:35Growth Rate Determination
  • 09:13Résultats
  • 10:46Conclusion

Summary

Traduction automatique

Dieser Artikel beschreibt das Wachstum von epitaxialen Filmen von Mg3N2 und Zn3N2 auf MgO-Substraten durch plasmaunterstützte Molekularstrahlepitaxietaxiemit n2 Gas als Stickstoffquelle und optische Wachstumsüberwachung.

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