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प्रतिपादन एसआईओ2/एसआईसतहों को नक्काशी गैस-एनट्रैपिंग माइक्रोटेक्सचर द्वारा ओमनीफोबिक जिसमें पुनः प्रवेशी और दोगुना पुनः प्रवेशी गुहायाँ या खंभे शामिल हैं
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Rendering SiO2/Si Surfaces Omniphobic by Carving Gas-Entrapping Microtextures Comprising Reentrant and Doubly Reentrant Cavities or Pillars
DOI:

08:02 min

February 11, 2020

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Chapitres

  • 00:04Introduction
  • 01:08Cavity Design and Wafer Cleaning
  • 02:17Photolithography
  • 03:15Silica (SiO2) and Silicon (Si) Layer Etching
  • 04:30Thermal Oxide Growth and Etching
  • 06:00Results: Representative Wetting Behaviors of Gas-Entrapping Microtextures (GEMs)
  • 07:08Conclusion

Summary

Traduction automatique

यह काम फोटोलिथोग्राफी और सूखी नक़्क़ाशी का उपयोग करके एसआईओ2/एसआईवेफर्स पर पुनः प्रवेशक और दोगुना पुनः प्रवेशित प्रोफाइल के साथ गुहाओं और स्तंभों को प्राप्त करने के लिए माइक्रोफैब्रिकेशन प्रोटोकॉल प्रस्तुत करता है। जिसके परिणामस्वरूप माइक्रोटेक्सचर सतहों उल्लेखनीय तरल प्रतिपेलेंस, गीला तरल पदार्थ के तहत हवा के मजबूत दीर्घकालिक फंसाने की विशेषता का प्रदर्शन, सिलिका की आंतरिक गीलाता के बावजूद ।

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