Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy Growth of Mg 3 N 2 and Zn 3 N 2 Thin Films Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy Growth of Mg 3 N 2 and Zn 3 N 2 Thin Films Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy Growth of Mg₃N₂ and Zn₃N₂ Thin Films Plasma-

Cet article décrit la croissance des films épitaxiaux de Mg₃N₂ et Zn₃N₂ sur les substrats MgO par épitaxie de faisceau moléculaire assistée par plasma avec le gaz N₂ comme source d'azote et surveillance optique de la croissance.