Rivista
/
/
Плазменный молекулярный луч Эпитаксисы Рост Mg3N2 и N3N2 Тонкие пленки
JoVE Journal
Ingegneria
Author Produced
È necessario avere un abbonamento a JoVE per visualizzare questo.  Accedi o inizia la tua prova gratuita.
JoVE Journal Ingegneria
Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy Growth of Mg3N2 and Zn3N2 Thin Films
DOI:

13:05 min

May 11, 2019

,

Capitoli

  • 00:00Titolo
  • 00:57MgO Substrate Preparation
  • 01:50Operation of VG V80 MBE
  • 02:13Substrate Loading
  • 04:04Metal Flux Measurements
  • 05:59Nitrogen Plasma
  • 06:51In-situ Laser Light Scattering
  • 08:35Growth Rate Determination
  • 09:13Risultati
  • 10:46Conclusion

Summary

Traduzione automatica

В этой статье описывается рост эпитаксиальных пленок Mg3N2 и N3N2 на субстратах MgO с помощью плазменной молекулярной лучейной эпитаксии с газом N2 в качестве источника азота и оптического мониторинга роста.

Video correlati

Read Article