ウェーハスケール試験場におけるSiN統合光フェーズドアレイの特性評価

ここでは、光相取アレイを含むSiN集積フォトニック回路の動作について述べます。回路は、近赤外線で低発散レーザービームを放出し、それらを2次元で操縦するために使用されます。