Rivista
/
Chimica
/
Effekten av anodiseringparametere på aluminiumoksiddielektrisk lag av tynnfilmtransistorer
JoVE Journal
Chimica
Author Produced
È necessario avere un abbonamento a JoVE per visualizzare questo.  Accedi o inizia la tua prova gratuita.
JoVE Journal Chimica
The Effect of Anodization Parameters on the Aluminum Oxide Dielectric Layer of Thin-Film Transistors

Effekten av anodiseringparametere på aluminiumoksiddielektrisk lag av tynnfilmtransistorer

DOI:
10.3791/60798-v

•

12:32 min

•

May 24, 2020

•

, , , ,
1School of Technology and Sciences,São Paulo State University – UNESP, 2Scholl of Electronic Engineering,Bangor University, 3Institute of Geosciences and Exact Sciences,São Paulo State University – UNESP

Capitoli

  • 00:00Introduction
  • 02:48Preparation of the Electrolytic Solution
  • 03:55Substrate Cleaning
  • 05:24Al Gate Electrode Evaporation
  • 06:31Anodization of the Al Layer
  • 07:41ZnO Active Layer Deposition
  • 08:38Drain and Source Electrodes Deposition
  • 09:36TFT Electrical Characterization
  • 10:09Risultati
  • 11:22Conclusion

Summary

Traduzione automatica

Traduzione automatica

Anodiseringsparametere for vekst av aluminiumoksiddielektrisk lag av sinkoksid tynnfilmtransistorer (TFTs) er varierte for å bestemme effekten på de elektriske parameterresponsene. Analyse av varians (ANOVA) brukes på en Plackett-Burman-design av eksperimenter (DOE) for å bestemme produksjonsforholdene som resulterer i optimalisert enhetsytelse.

Tags

Aluminum OxideAnodizationThin-film TransistorsDielectric LayerElectrolytic SolutionSubstrate CleaningAluminum Electrode DepositionAnodization ProcessElectrical CharacterizationPlackett-Burman Design Of Experiments

Article

Embed

AGGIUNGI ALLA PLAYLIST

Usage Statistics

Video correlati

Fotokjemisk Oksidativt Vekst av Iridium Oxide Nanopartikler på CdSe @ CdS nanorods

Epitaxial Vekst av Perovskite strontium titanate på Germanium via Atomic Layer Nedfall

Effekten av interfacial kjemisk binding i TiO<sub> 2</sub> -SiO<sub> 2</sub> Kompositter på deres fotokatalytiske NOx-reduksjonsytelse

Syntese av porøse Barium Titanate tynn Film og termisk stabilisering av Ferroelectric fase av porøsitet-indusert stamme

Effekten av lading og utlading Lithium jern fosfat-grafitt celler ved forskjellige temperaturer på degradering

Effekten av ultrafiolett stråling på kjemiske bad avsetning av Bis(thiourea) kadmium klorid krystaller og den påfølgende CD-Obtention

Solvothermal syntese av MIL-96 og UiO-66-NH2 på Atomic lag avsatt metalloksid belegg på Fiber Mats

Utarbeidelse av Polyoxometalate-baserte Foto-responsive membraner for foto-aktivering av mangan oksid katalysatorer

Utvinning av Lignin med høy β-O-4 innhold av Mild etanol utvinning og dens effekt på Depolymerization avkastningen

Elektrokjemiske Roughening av Thin-Film Platinum makro og Microelectrodes

Read Article