Engineering
È necessario avere un abbonamento a JoVE per visualizzare questo Contenuto. Accedi o inizia la tua prova gratuita.
Capitoli
Riepilogo
Please note that all translations are automatically generated.
To fabrikationsteknikker, lift-off og våd ætsning, er beskrevet i fremstilling interdigital elektrode transducere på en piezoelektrisk substrat, lithium niobat, udbredt til at generere overflade akustiske bølger nu finde bred nytte i mikro til nanoskala fluidics. De as-producerede elektroder er vist sig at effektivt fremkalde megahertz orden Rayleigh overflade akustiske bølger.