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에어로졸 증착을 사용하여 두꺼운 고밀도 이트륨 철 가넷 필름의 형성
 
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에어로졸 증착을 사용하여 두꺼운 고밀도 이트륨 철 가넷 필름의 형성

Article DOI: 10.3791/52843-v • 10:52 min • May 15th, 2015
May 15th, 2015 •
1, 2, 1, 1
1Power Electronics Branch, Naval Research Laboratory, 2Physics of Electronic Materials Branch, Naval Research Laboratory

챕터

요약
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이 보고서는 실온에서 사파이어 기판에 이트륨 철 가넷의 두꺼운 필름의 에어로졸 증착을 수행 할 수있는 맞춤형 시스템의 사용에 대해 설명합니다. 증착 된 필름은 기술의 능력의 대표적인 개요를 제공하는 주사 전자 현미경, 프로파일 로메, 강자성 공명을 특징으로한다.

Tags

공학 99 호 에어로졸 증착법 이트륨 철 가넷 전자 재료 고주파 재료 막 두께 강자성 공명 콜드 스프레이 코팅 실온 세라믹 기능성 재료 페라이트 산화물
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