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In Tiefenanalysen der LEDs durch eine Kombination von Röntgen Computertomographie (CT) und Lichtmikroskopie (LM) korrelierte mit Rasterelektronenmikroskopie (SEM)
 
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In Tiefenanalysen der LEDs durch eine Kombination von Röntgen Computertomographie (CT) und Lichtmikroskopie (LM) korrelierte mit Rasterelektronenmikroskopie (SEM)

Article DOI: 10.3791/53870-v 10:42 min June 16th, 2016
June 16th, 2016

챕터

요약

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Ein Workflow für eine umfassende Mikro Charakterisierung aktiver optischer Geräte skizziert. Es enthält strukturelle sowie funktionelle Untersuchungen mit Hilfe von CT, LM und SEM. Das Verfahren ist für eine weiße LED demonstriert, die noch während der Charakterisierung betrieben werden kann.

Tags

Technik Heft 112 Licht emittierende Diode Röntgen-Computertomographie korreliert Licht- und Elektronenmikroskopie Mikroanalyse Probenvorbereitung Erstellung von Querschnitten
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