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Nanoimpression électrochimique assistée par métal de plaquettes de silicium poreux et solides
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Metal-Assisted Electrochemical Nanoimprinting of Porous and Solid Silicon Wafers
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Nanoimpression électrochimique assistée par métal de plaquettes de silicium poreux et solides

DOI:
10.3791/61040-v

•

09:18 min

•

February 08, 2022

•

, , ,
1The Polytechnic School,Arizona State University

Chapters

  • 00:05Introduction
  • 01:19Mac-imprint Stamp Preparation
  • 02:43Photoresist Ultraviolet (UV) Nanoimprinting
  • 04:05Gold and Silver/Gold Catalyst Thin Film Deposition
  • 05:17Silver/Gold Catalyst Thin Film Dealloying
  • 06:01Mac-imprint Operation
  • 07:33Results: Representative Au Porous Stamp and Si Mac-imprint Imaging
  • 08:31Conclusion

Summary

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Un protocole pour l’impression chimique assistée par métal de caractéristiques microscopiques 3D avec une précision de forme inférieure à 20 nm dans des plaquettes de silicium solides et poreuses est présenté.

Tags

Metal-assisted Electrochemical NanoimprintingPorous SiliconSolid SiliconHierarchical MicrostructuresMetasurface-based Microoptic ElementsWaveguide TechnologiesOptical BiosensorsInfrared Optical DevicesIII-V SemiconductorsStamp To Substrate Tip And Tilt AlignmentRCA-1 SolutionPFOCSPDMSUV Nanoimprinting

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