在玻璃基板上制作的铬/金电极 1A部分:湿蚀刻方法 *对于最高质量的设备,制造工艺应在洁净室环境或层流罩下使灰尘和其他污染物不会影响格局。 2英寸4英寸的载玻片放置在加热(80 ° C)食人鱼30分钟,以去除污染物(尤其是有机的),然后在DI冲洗溶液(5:7 H 2 O 2:H 2 SO 4)水,并用压缩空气吹干。 与电子束蒸发器的基板?…
Hart, R., Oh, J., Capurro, J., Noh, H. (. AC Electrokinetic Phenomena Generated by Microelectrode Structures. J. Vis. Exp. (17), e813, doi:10.3791/813 (2008).