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集中太陽光発電システムにおけるスペクトル分割分散素子の高コントラスト回折格子の作製
 
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集中太陽光発電システムにおけるスペクトル分割分散素子の高コントラスト回折格子の作製

Article DOI: 10.3791/52913-v • 12:08 min • July 18th, 2015
July 18th, 2015 •
1, 1, 1
1Department of Electrical Engineering, University of Sothern California

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Tags

工学号101、パラレルスペクトル分割、分散素子、回折格子高コントラスト、濃縮太陽光発電システム、ナノインプリントリソグラフィ、反応性イオンエッチング
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