Caracterización de arreglos ópticos por fases integrados de SiN en una estación de prueba de escala de obleas

Aquí, describimos el funcionamiento de un circuito fotónico integrado siN que contiene matrices ópticas por fases. Los circuitos se utilizan para emitir rayos láser de baja divergencia en el infrarrojo cercano y dirigirlos en dos dimensiones.