Waiting
Processando Login

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
Journal / Engineering / Электрохимическая наноимпринтовка пористых и…
JoVE Journal
Engineering

É necessário ter uma assinatura JoVE para assistir este Faça login ou comece sua avaliação gratuita.

JoVE Journal Engineering
Электрохимическая наноимпринтовка пористых и твердых кремниевых пластин с помощью металлов
 
Click here for the English version

Электрохимическая наноимпринтовка пористых и твердых кремниевых пластин с помощью металлов

Article DOI: 10.3791/61040-v • 09:18 min • February 8th, 2022
February 8th, 2022 •
1, 1, 1, 1
1The Polytechnic School, Arizona State University

Capítulos

Resumo
Automatic Translation

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Представлен протокол металлического химического импринтинга 3D микромасштабных объектов с точностью формы менее 20 нм в твердые и пористые кремниевые пластины.

Tags

Машиностроение выпуск 180 наноимпринтинг электрохимическая наноимпринтация MACE металлическое химическое травление кремниевая фотоника микропроизводство микроинженерия
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter