Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Den robuste enhed design sløring-field elektrostatiske MEMS aktuatorer resultater i sagens natur lavt squeeze-film dæmpning forhold og lange bosætter tidspunkter, hvor du udfører rangering ved hjælp af konventionelle trin påvirke. Real-time skifte tid forbedring med DC-dynamiske kurver reducerer afvikling tid af sløring felt MEMS aktuatorer, hvor der skiftes mellem op-til-ned og nede-på-up stater.