Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Två tillverkningstekniker, lyft-off och våt etsning, beskrivs i att producera interdigital elektrod givare på en piezoelektrisk substrat, litium niobat, ofta används för att generera ytan akustiska vågor nu hitta bred nytta i mikro till nanoskala fluidik. De som produceras elektroder visas för att effektivt inducera megahertz beställa Rayleigh yta akustiska vågor.