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Luce migliorato Acido fluoridrico passivazione
Fine-tuning the Size and Minimizing the Noise of Solid-state Nanopores
Journal (Engineering)
Fine-tuning the Size and Minimizing the Noise of Solid-state Nanopores
Assembly and Characterization of an External Driver for the Generation of Sub-Kilohertz Oscillatory Flow in Microchannels
Journal (Engineering)
Assembly and Characterization of an External Driver for the Generation of Sub-Kilohertz Oscillatory Flow in Microchannels
 
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Luce migliorato Acido fluoridrico passivazione: una tecnica sensibile per il rilevamento di difetti Silicon Bulk

Article DOI: 10.3791/53614-v • 09:15 min • January 4th, 2016
January 4th, 2016 •
1
1Research School of Engineering, Australian National University

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A RT superficie liquida tecnica di passivazione per indagare l'attività ricombinazione di difetti di silicio di massa è descritta. Per la tecnica abbia successo, tre passaggi critici sono richiesti: (i) pulizia chimica ed attacco del silicio, (ii) l'immersione del silicio in 15% di acido fluoridrico e (iii) l'illuminazione per 1 min.

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Ingegneria Numero 107 durata Bulk difetti acido fluoridrico illuminazione passivazione photoconductance ricombinazione.
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