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Luz reforçada Passivation ácido fluorídrico
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Luz reforçada Passivation ácido fluorídrico: uma técnica sensível para a detecção de defeitos de silício em massa

Article DOI: 10.3791/53614-v • 09:15 min • January 4th, 2016
January 4th, 2016 •
1
1Research School of Engineering, Australian National University

Chapters

Summary
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A RT técnica passivation superfície do líquido para investigar a atividade de recombinação de defeitos de silício em massa é descrito. Para que a técnica seja bem sucedido, três passos críticos são necessários: (i) a limpeza química e corrosão de silício, (ii) a imersão de silício em 15% de ácido fluorídrico e (iii) iluminação durante 1 min.

Tags

Engenharia Edição 107 massa de vida defeitos ácido fluorídrico iluminação passivação photoconductance recombinação.
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