Fabrication of Bi2Te3 and Sb2Te3 Thermoelectric Thin Films using Radio Frequency Magnetron Sputtering Technique

Nurfarhana Ahmad Musri; Yoganash Putthisigamany; Puvaneswaran Chelvanathan; Norasikin Ahmad Ludin; Nadhrah Md Yatim; Ubaidah Syafiq

doi:10.3791/66248

Deposition of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

May 17, 2024

Изготовление термоэлектрических тонких пленок Bi₂Te₃ и Sb₂Te₃ с использованием метода радиочастотного магнетронного распыления

00:45 min

•

Radio Frequency Magnetron Sputtering of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thermoelectric Thin Films on Glass Substrates

03:39 min

•

Nurfarhana Ahmad Musri, Yoganash Putthisigamany, Puvaneswaran Chelvanathan, Norasikin Ahmad Ludin, Nadhrah Md Yatim, Ubaidah Syafiq

¹Solar Energy Research Institute (SERI),Universiti Kebangsaan Malaysia, ²Faculty of Science and Technology,Universiti Sains Islam Malaysia

Summary

В статье описан протокол радиочастотного магнетронного распыления термоэлектрических тонких пленок Bi₂Te₃ и Sb₂Te₃ на стеклянных подложках, который представляет собой надежный метод осаждения, обеспечивающий широкий спектр применений с потенциалом для дальнейшего развития.

Deposition of Bi2Te3 and Sb2Te3 Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

Изготовление термоэлектрических тонких пленок Bi2Te3 и Sb2Te3 с использованием метода радиочастотного магнетронного распыления

Radio Frequency Magnetron Sputtering of Bi2Te3 and Sb2Te3 Thermoelectric Thin Films on Glass Substrates

Summary

Article

Deposition of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

Изготовление термоэлектрических тонких пленок Bi₂Te₃ и Sb₂Te₃ с использованием метода радиочастотного магнетронного распыления

Radio Frequency Magnetron Sputtering of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thermoelectric Thin Films on Glass Substrates