Deposition of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

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この論文では、ガラス基板上のBi₂Te₃ およびSb₂Te₃ 熱電薄膜の高周波マグネトロンスパッタリングのプロトコルが記載されており、これは信頼性の高い堆積法であり、さらなる開発の可能性を秘めた幅広いアプリケーションを提供します。