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Deposition of Bi2Te3 and Sb2Te3 Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

May 17, 2024
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Summary

El manuscrito describe un protocolo para la pulverización catódica de magnetrón de radiofrecuencia de películas delgadas termoeléctricas Bi2Te3 y Sb2Te3 sobre sustratos de vidrio, que representa un método de deposición confiable que proporciona una amplia gama de aplicaciones con potencial para un mayor desarrollo.