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Spatially सीमित परिसर आक्साइड का निर्माण
 
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Spatially सीमित परिसर आक्साइड का निर्माण

Article DOI: 10.3791/50573-v • 08:45 min • July 1st, 2013
July 1st, 2013 •
1,2, 1
1Materials Science and Technology Division, Oak Ridge National Laboratory, 2Department of Physics & Astronomy, University of Tennessee, Knoxville

Chapitres

résumé
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हम स्पंदित लेजर बयान (इलेक्ट्रॉनिक्स), फोटोलिथोग्राफी और सुक्ष्ममापी पैमाने जटिल आक्साइड उपकरणों को बनाने के लिए तार संबंध तकनीक के उपयोग का वर्णन. इलेक्ट्रॉनिक्स epitaxial पतली फिल्मों विकसित करने के लिए उपयोग किया जाता है. Photolithography और तार संबंध तकनीक माप प्रयोजनों के लिए व्यावहारिक उपकरणों को बनाने के लिए पेश कर रहे हैं.

Tags

सामग्री विज्ञान अंक 77 भौतिकी रसायन केमिकल इंजीनियरिंग मैकेनिकल इंजीनियरिंग ठोस में विद्युत परिवहन गुण संघनित पदार्थ भौतिकी पतली फिल्मों (सिद्धांत बयान और विकास) चालकता (ठोस राज्य) स्पंदित लेजर बयान पतली फिल्मों आक्साइड फोटोलिथोग्राफी तार से संबंध
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