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Síntesis y Caracterización de alta eje c ZnO Thin Film por Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition System y su Fotodetector Aplicación UV
 
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Síntesis y Caracterización de alta eje c ZnO Thin Film por Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition System y su Fotodetector Aplicación UV

Article DOI: 10.3791/53097-v • 08:18 min • October 3rd, 2015
October 3rd, 2015 •
1, 1
1Institute of Manufacturing Technology and Department of Mechanical Engineering, National Taipei University of Technology (TAIPEI TECH)

Chapitres

Tags

Ingeniería Número 104 ZnO película delgada, plasma mayor deposición de vapor químico dietilzinc (DEZn) sensor Pt electrodo interdigitada el contacto óhmico fotodetectores UV
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