Waiting
Traitement de la connexion…

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal
Engineering

Un abonnement à JoVE est nécessaire pour afficher ce contenu. Connectez-vous ou commencez votre essai gratuit.

3D Karbon Mikroelektromekanik Sistemlerin (C-MEMS) İmalatı
 
Click here for the English version

3D Karbon Mikroelektromekanik Sistemlerin (C-MEMS) İmalatı

Article DOI: 10.3791/55649-v 08:01 min June 17th, 2017
June 17th, 2017

Chapitres

résumé

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Uzun ve içi boş camsı karbon mikroelyafları, doğal bir ürünün, insan saçının pirolizine dayalı olarak imal edilmiştir. Karbon mikroelektromekanik ve karbon nano elektromekanik sistemlerin veya C-MEMS ve C-NEMS'nin iki üretim aşaması şunlardır: (i) karbon açısından zengin bir polimer öncüsünün fotolitografisi ve (ii) desenli polimer öncüsünün pirolizi.

Tags

Mühendislik Sayı 124 Karbon-MEMS / NEMS camsı karbon imalat litografi piroliz SU8 fotorezist insan saçları.
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter