Engineering
È necessario avere un abbonamento a JoVE per visualizzare questo Contenuto. Accedi o inizia la tua prova gratuita.
Capitoli
Riepilogo
Please note that all translations are automatically generated.
Enhetlig storlek nanopartiklar kan ta bort svängningar i kontakt håldimensioner mönstrade i poly (metylmetakrylat) (PMMA) fotoresistfilmer från elektronstråle (E-stråle) litografi. Processen omfattar elektro kanalisera till centrum och inlåningsnanopartiklar i kontakt hål, följt av fotoresist återflöde och plasma och våt-etsningsstegen.