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成長・アニール時の酸素空孔制御による酸化物物性の調整
 
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成長・アニール時の酸素空孔制御による酸化物物性の調整

Article DOI: 10.3791/58737-v 06:44 min June 9th, 2023
June 9th, 2023

챕터

요약

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酸化物材料は、酸素含有量を調整することによって制御できる多くのエキゾチックな特性を示します。ここでは、パルスレーザー堆積パラメータを変化させ、ポストアニールを行うことにより、酸化物中の酸素含有量の調整を示します。一例として、SrTiO3ベースのヘテロ構造の電子特性は、成長修飾およびアニーリングによって調整される。

Tags

化学、第196号、酸化物、酸素空孔、酸化物界面、電気特性、磁気特性、キャリア密度、パルスレーザー蒸着、アニール
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