JoVE Journal
Engineering
Engineering
이 콘텐츠 오픈 액세스로 구독없이 시청하실 수 있습니다.
챕터
요약
Please note that all translations are automatically generated.
Dette arbeidet presenterer mikrofabrikasjonsprotokoller for å oppnå hulrom og søyler med reentrant og dobbelt reentrant profiler på SiO2/ Si wafers ved hjelp av fotolitografi og tørr etsing. Resulterende mikroteksturerte overflater viser bemerkelsesverdig flytende avstøting, preget av robust langsiktig entrapment av luft under fuktevæsker, til tross for den iboende våtheten av silika.