Waiting
로그인 처리 중...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
Journal / Engineering / النانو الغطاسي α كوارتز أفلام على السيليكون: من…
JoVE Journal
Engineering

JoVE 비디오를 활용하시려면 도서관을 통한 기관 구독이 필요합니다. 전체 비디오를 보시려면 로그인하거나 무료 트라이얼을 시작하세요.

JoVE Journal Engineering
النانو الغطاسي α كوارتز أفلام على السيليكون
 
Click here for the English version

النانو الغطاسي α كوارتز أفلام على السيليكون: من المواد إلى أجهزة جديدة

Article DOI: 10.3791/61766-v • 11:34 min • October 6th, 2020
October 6th, 2020 •
1, 1, 1, 1, 1
1Institut d'Electronique et des Systemes (IES), CNRS, Université de Montpellier

챕터

요약
Automatic Translation

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

يقدم هذا العمل بروتوكولًا مفصلًا للتكبير المجهري للمواد النانوية α الكوارتز على طبقة تكنولوجيا السيليكون أون عازل (SOI) بدءًا من النمو الإكسي للفيلم الكوارتز مع طريقة طلاء الانخفاض ثم إعادة تخطيط النانو للفيلم الرقيق عبر الطباعة الحجرية النانوية.

Tags

الهندسة، الإصدار 164، الطباعة النانوية لطباعة الحجرية (NIL)، α الكوارتز، الركيزة SOI، الكهروضوئية، microfabrication، الطباعة الحجرية، النقش، cantilever، MEMS
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter