Engineering
É necessário ter uma assinatura JoVE para assistir este Faça login ou comece sua avaliação gratuita.
Capítulos
Resumo
Please note that all translations are automatically generated.
En metode til permanent limning af to siliciumskiver for at realisere et ensartet kabinet er beskrevet. Dette omfatter wafer forberedelse, rengøring, RT limning, og udglødning processer. De resulterende bundne wafere (celler) har ensartethed af kabinettet ~ 1%1,2. Den resulterende geometri giver mulighed for målinger af indelukkede væsker og gasser.