JoVE Journal
Chemistry
Chemistry
É necessário ter uma assinatura JoVE para assistir este Faça login ou comece sua avaliação gratuita.
Capítulos
Resumo
Please note that all translations are automatically generated.
Dette arbejde beskriver procedurerne for vækst og karakterisering af krystallinsk SrTiO 3 direkte på germanium substrater af atomare lag deposition. Proceduren illustrerer evne en all-kemisk metode vækst at integrere oxider monolitisk på halvledere til metal-oxid halvleder-enheder.