Chemistry
É necessário ter uma assinatura JoVE para assistir este Faça login ou comece sua avaliação gratuita.
Capítulos
Resumo
Please note that all translations are automatically generated.
Эта работа подробно описываются процедуры для роста и характеристики кристаллического SrTiO 3 непосредственно на германиевых подложках путем осаждения атомных слоев. Процедура иллюстрирует способность все-химическим методом роста интеграции оксидов на монолитно полупроводников для полупроводниковых приборов металлооксидных.