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Fabbricazione di canali Nanoheight che incorporano l'atuazione delle onde acustiche superficiali tramite Litio Niobate per la Nanofluidica acustica
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Fabrication of Nanoheight Channels Incorporating Surface Acoustic Wave Actuation via Lithium Niobate for Acoustic Nanofluidics
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Fabbricazione di canali Nanoheight che incorporano l'atuazione delle onde acustiche superficiali tramite Litio Niobate per la Nanofluidica acustica

DOI:
10.3791/60648-v

•

07:23 min

•

February 05, 2020

•

,
1Medically Advanced Devices Laboratory, Center for Medical Devices, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Jacobs School of Engineering, and the Department of Surgery, School of Medicine,University of California San Diego

Chapters

  • 00:05Introduction
  • 00:54Nano-height Channel Mask Preparation
  • 01:53Nano-height Channel Fabrication
  • 02:49Room Temperature Plasma-activated Bonding
  • 04:56Experimental Setup and Testing
  • 05:54Results: Representative Fluid Capillary Filling and Surface Acoustic Wave (Saw)-Induced Fluid Draining
  • 06:45Conclusion

Summary

Automatic Translation

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Dimostriamo la fabbricazione di canali nanoheight con l'integrazione di dispositivi di azionamento delle onde acustiche superficiali su niobate al litio per nanofluidici acustici tramite fotolitografia di decollo, incisione di ioni reattivi nano-profondità e plasma a temperatura ambiente l'incollaggio multistrato attivo dalla superficie del niobate di litio monocristallo, un processo altrettanto utile per l'associazione di niobate al litio agli ossidi.

Tags

Nanoheight ChannelsSurface Acoustic WaveLithium NiobateAcoustic NanofluidicsNanofabricationPlasma BondingPhotolithographyReactive Ion EtchingChromium EtchingSolvent Cleaning

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