/
/
Изготовление нановысотных каналов, включающих поверхностную акустическую волну, активацию с помощью литиевого ниобата для акустических нанофлюидиков
A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
Chapters
- 00:05Introduction
- 00:54Nano-height Channel Mask Preparation
- 01:53Nano-height Channel Fabrication
- 02:49Room Temperature Plasma-activated Bonding
- 04:56Experimental Setup and Testing
- 05:54Results: Representative Fluid Capillary Filling and Surface Acoustic Wave (Saw)-Induced Fluid Draining
- 06:45Conclusion
Мы демонстрируем изготовление нановысотных каналов с интеграцией поверхностных акустических волновых устройств активации на литиевый ниобат для акустической нанофлюитики с помощью фотолитографии подъема, нано-глубокого реактивного ионного травления и комнатно-температурной плазмы многослойная связь однокристаллического лития-ниобата, процесса, столь же полезного для склеивания ниобата лития с оксидами.
