JoVE Journal
Engineering
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Detta arbete presenterar ett detaljerat protokoll för mikrotillverkning av nanostrukturerad α-kvarts cantilever på en Silicon-On-Insulator (SOI) teknik substrat från epitaxial tillväxt av kvartsfilm med dip beläggning metod och sedan nanostructuration av tunnfilmen via nanoimprint litografi.