JoVE Journal
Engineering
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챕터
요약
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Apresentado aqui está um protocolo stepwise para a realização de membranas deaprisionação de gás (GEMs) a partir de wafers SiO 2/Si usando tecnologia integrada de microfabricação de circuitos. Quando os sílicas-GEMs estão imersos na água, a intrusão da água é evitada, apesar da composição aquática da sílica.