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Preuve de concept pour les membranes d’enpiçage au gaz dérivées de L’eau-Aimant SiO2/Si/SiO2 Wafers pour le dessalement vert
 
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Preuve de concept pour les membranes d’enpiçage au gaz dérivées de L’eau-Aimant SiO2/Si/SiO2 Wafers pour le dessalement vert

Article DOI: 10.3791/60583-v 09:39 min March 1st, 2020
March 1st, 2020

챕터

요약

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Présenté ici est un protocole étape pour la réalisation des membranes de piégeage des gaz (GEM) à partir de plaquettes SiO2/Si en utilisant la technologie intégrée de microfabrication de circuits. Lorsque les silice-GEM sont immergés dans l’eau, l’intrusion d’eau est empêchée, malgré la composition épris d’eau de la silice.

Tags

Ingénierie Numéro 157 dessalement de l’eau distillation de membrane de contact direct membranes sans perfluorocarbone photolithographie gravure réactive-ion mouillage caractéristiques de réentrant masque chromé alignement de dos gravure anisotropique transport de vapeur
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