Engineering
É necessário ter uma assinatura JoVE para assistir este Faça login ou comece sua avaliação gratuita.
Capítulos
Resumo
Please note that all translations are automatically generated.
स्वाभाविक कम दबाव फिल्म भिगोना शर्तों और लंबे समय से निपटाने के बार में fringing क्षेत्र इलेक्ट्रोस्टैटिक MEMS actuators परिणामों की मजबूत डिवाइस डिजाइन पारंपरिक कदम biasing का उपयोग कर स्विचन कार्रवाई कर जब. के बीच संक्रमण जब डीसी गतिशील waveforms के साथ समय सुधार स्विचन वास्तविक समय fringing क्षेत्र के निपटाने के समय को कम कर देता actuators MEMS के लिए नीचे से ऊपर और नीचे करने वाली अप राज्यों.