Waiting
로그인 처리 중...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
Journal / Engineering / שימוש של חלקיקים של הקורבן להסיר את ההשפעות של…
JoVE Journal
Engineering

JoVE 비디오를 활용하시려면 도서관을 통한 기관 구독이 필요합니다. 전체 비디오를 보시려면 로그인하거나 무료 트라이얼을 시작하세요.

JoVE Journal Engineering
שימוש של חלקיקים של הקורבן להסיר את ההשפעות של Shot-רעש חורים לתקשר מפוברק על ידי E-הקורה ליתוגרפיה
 
Click here for the English version

שימוש של חלקיקים של הקורבן להסיר את ההשפעות של Shot-רעש חורים לתקשר מפוברק על ידי E-הקורה ליתוגרפיה

Article DOI: 10.3791/54551-v • 07:51 min • February 12th, 2017
February 12th, 2017 •
1, 2
1Department of Chemistry, Portland State University, 2Logic Technology Department, Intel Corporation

챕터

요약
Automatic Translation

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

באופן אחיד חלקיקים בגודל יכולים להסיר תנודות בממדי קשר חור בדוגמת פולי (methacrylate מתיל) (PMMA) סרטי photoresist על ידי קרן אלקטרונים (E-beam) ליתוגרפיה. התהליך כרוך תיעול אלקטרוסטטית חלקיקים במרכז הפקדה חורה קשר, ואחריו הזרמה מחדש photoresist ו פלזמה וצעדים רטוב-תחריט.

Tags

הנדסה גיליון 120 E-קרן / ליתוגרפיה EUV מנתב את אלקטרוסטטית להתנגד הזרמה מחדש תחריט פלזמה
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter