Waiting
로그인 처리 중...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
Journal / Chemistry / 3D-diepteprofielreconstructie van gescheiden…
JoVE Journal
Chemistry

이 콘텐츠 오픈 액세스로 구독없이 시청하실 수 있습니다.

JoVE Journal Chemistry
3D-diepteprofielreconstructie van gescheiden onzuiverheden met behulp van secundaire ionenmassaspectrometrie
 
Click here for the English version

3D-diepteprofielreconstructie van gescheiden onzuiverheden met behulp van secundaire ionenmassaspectrometrie

Article DOI: 10.3791/61065-v • 07:10 min • April 29th, 2020
April 29th, 2020 •
1, 1, 1, 1, 1
1Łukasiewicz Research Network-Institute of Electronic Materials Technology

챕터

요약
Automatic Translation

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

De gepresenteerde methode beschrijft hoe meetartefacten met betrekking tot secundaire ionenmassaspectrometrie kunnen worden geïdentificeerd en opgelost, evenals het verkrijgen van realistische 3D-verdelingen van onzuiverheden/doteermiddelen in vastestofmaterialen.

Tags

3D-diepteprofielreconstructie gescheiden onzuiverheden secundaire ionenmassaspectrometrie SIMS detectielimieten ruimtelijke resolutie realistische 3D-verdelingen meetartefacten vlakveldcorrectie vacuümachtergrondbijdrage stabiele tijdspanne primaire ionenbron nat chemisch etsen dislocatiepositie scanning-elektronenmicroscopie (SEM) geagglomereerde onzuiverheden defectpositie monstervoorbereidingsfase
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter