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Chemistry

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2차 이온 질량분석법을 사용한 분리된 불순물의 3D 깊이 프로파일 재구성
 
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2차 이온 질량분석법을 사용한 분리된 불순물의 3D 깊이 프로파일 재구성

Article DOI: 10.3791/61065-v • 07:10 min • April 29th, 2020
April 29th, 2020 •
1, 1, 1, 1, 1
1Łukasiewicz Research Network-Institute of Electronic Materials Technology

챕터

요약
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제시된 방법은 2차 이온 질량 분석법과 관련된 측정 아티팩트를 식별 및 해결하고 고체 물질에서 불순물/도펀트의 사실적인 3D 분포를 얻는 방법을 설명합니다.

Tags

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